2023年末,光刻机巨头ASML向Intel交付首套高数值孔径High-NA EUV光刻机,型号为 TWINSCAN EXE:5000。 当时业界普遍认为,High-NA EUV将对先进芯片开发和下代处理器生产发挥关键作用。 但时至今日,各大晶圆代工厂都在减少依赖High-NA EUV,延后导入时间。 特别是Intel董事发言,让市场对High-NA EUV光刻机的前景产生更多疑问。 据不愿意透露姓名的Intel董事说法,新晶体管设计如GAAFET和CFET,降低芯片制造对先进光刻设备(尤其是EUV光刻机)的依赖。 这些设计是从四面包裹栅极,更偏用蚀刻去除多余材料,而不是增加晶圆曝光时间以缩小电路尺寸。 芯片生产时横向重要性日益增加,High-NA EUV 重要性就没那么重要了。筛号平台 |